ARIS Integra主動(dòng)隔振系統/主動(dòng)減震系統/主動(dòng)防震系統
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ARIS Integra主動(dòng)隔振系統/主動(dòng)減震系統/主動(dòng)防震系統

ARIS Integra主動(dòng)隔振系統/主動(dòng)減震系統/主動(dòng)防震系統 緊湊型模塊化主動(dòng)隔振系統,能夠抵消影響超高精密設備或工具的振動(dòng),多個(gè)獨立的隔振器可承受高達4000Kg的大型設備負載,安裝簡(jiǎn)易,無(wú)需抬高及重新校準。

ARIS Integra主動(dòng)隔振系統/主動(dòng)減震系統/主動(dòng)防震系統

緊湊型模塊化主動(dòng)隔振系統,能夠抵消影響超高精密設備或工具的振動(dòng),多個(gè)獨立的隔振器可承受高達4000Kg的大型設備負載,安裝簡(jiǎn)易靈活,無(wú)需抬高及重新校準。




主要優(yōu)勢:

?1. 6自由度隔振

?2. 0.5Hz開(kāi)始隔振有效增益

?3. 可變阻尼

?4. 內置人工智能功能

?5. 主動(dòng)隔振頻率范圍可調整

?6. 遠程控制

?7. 內置實(shí)時(shí)診斷工具(頻譜分析儀、示波器)

?8. 震動(dòng)模式(可選)


應用領(lǐng)域:

?1. 電子顯微鏡(SEM、TEM、FIB、EBL、DualBeam)

?2. 半導體測試設備(光刻機、晶圓測試儀、電子束曝光機、CD_SEM)

?3. 掃描隧道顯微鏡/STM、掃描探針顯微鏡SPM、大型原子力顯微鏡/AFM

?4. X-Ray、CT、MPI

?......


規格參數

Model/型號ARIS Integra500
ARIS Integra1000
Dimensions/規格(mm)

800mm (Flexible Length) x230x75mm

800mm (Flexible Length) x230x75mm

Load Capacity(Kg)

200-500 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited

500-1000 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited

Actuaotor Force/制動(dòng)器力
Vertical = 50N ?; Horizontal = 25N
Active Isolation Range/主動(dòng)隔振頻率
0.5-100Hz
Architecture/結構
MVIS - Multi-layer Vibration Isolation Structure/MVIS-多層隔振結構
Degrees of Freedom/自由度
6 degrees
Vibration Isolation Performance/性能
~8db gain on 1Hz?

~20db gain on 2Hz

Setting Time/響應時(shí)間
≤0.1 sec
Real-Time Diagnostic Tools
實(shí)時(shí)診斷工具
Built-in Real-Time 2 channels Oscilloscope, Real Time 2 channel Spectrum Analyzer
Real-Time performance adjustment
實(shí)時(shí)性能調整工具
Adaptive Control in ALL 6 degrees of freedom in real-time. Remote Access
Input Voltage/電壓
AC 80-260V/50-60Hz

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