toone氣浮隔振光學平臺
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toone氣浮隔振光學平臺

toone氣浮隔振光學平臺 具有負載能力強、剛性強、穩定性高、隔振效果好的科研級氣浮隔振光學平臺。

toone氣浮隔振光學平臺(科研級)


應用領域:?

適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用


產品特點:?

◆公司依托于航空工業人員背景研發制造的具有負載能力強、剛性強、穩定性高、隔振效果好的科研級氣浮隔振光學平臺。?

◆優異的隔振性能:內置精密空氣彈簧隔振系統,具備優秀的固有頻率,對多個方向的振動特別是垂直方向有著良好衰減效果,避免外界振動干擾設備儀器精度,提高儀器設備使用精度和使用效率。?

◆自動調節水平功能:放置負載的位置發生變化,平臺迅速通過高精度閥門自動調整空氣彈簧內部的氣壓,自動保持水平。氣動元器件全部執行德國 FESTO 產品,標配進口無油壓縮機。?

◆臺板采用蜂窩芯夾板結構,具有重量輕、高剛度、高阻尼等優點,上面板為 1cr17 優質高導磁不銹鋼,經精密研磨處理,平面度高,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、亞光效果, 面板具有M6螺紋孔陣列,易于固定光學元件。?

◆隔振支撐為優質鋼管焊接而成,整體堅固穩定。?

◆工作壓力為?0.35~0.6Mpa,標準配置調壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作,用戶只需要將氣管連接進氣口,就能使裝置正常發揮隔振功能,氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給,便于在安靜場合使用。


技術參數:

平面度:
< 0.05mm/m2
M6螺紋孔/孔間距
25X25mm
表面粗糙度
< 0.8μm
固有頻率
水平方向:1.0Hz~1.5Hz;垂直方向:1.0Hz~1.5Hz
減振效率
水平方向> 5Hz 時:88%~94% ?; 垂直方向<5Hz 時:86%~92%
水平方向<10Hz時:92%~98% ?; 垂直方向<10Hz時:90%~95%
振幅
< 1μm
重復定位精度
±0.05mm
荷載能力
800kg/m2


?產品型號:(可根據客戶要求定制不同尺寸)

型號

規格(mm)

支撐數量

面板厚度

臺面厚度

螺紋孔/孔距

ZI-QF-06-06

600x600x800

4

6mm

50mm

M6/25X25mm

ZI-QF-075-075

750x750x800

4

6mm

50mm

M6/25X25mm

ZI-QF-09-06

900x600x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-10-08

1000x800x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-12-08

1200x800x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-12-09

1200x900x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-15-09

1500x900x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-16-10

1600x1000x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-15-12

1500x1200x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-18-10

1800x1000x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-18-12

1800x1200x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-20-10

2000x1000x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-20-12

2000x1200x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-24-12

2400x1200x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-30-12

3000x1200x800

6

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-30-15

3000x1500x800

6

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-35-15

3500x1500x800

6

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-40-15

4000x1500x800

6

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-50-15

5000x1500x800

10

10mm

300mm

M6/25X25mm

ZI-QF-60-15

6000x1500x800

12

10mm

300mm

M6/25X25mm

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